ProductsDescription
켐옵틱스는 진화된 기술과 혁신적 프로세스에
기반한 우수한 제품을 생산하여 판매하고 있습니다.
반도체재료
BARC polymer
스핀 코팅용 BARC(Bottom Anti-Reflective Coating, 반사방지막)는 반도체 포토 공정에서 하부 표면으로부터 노광원의 산란과 반사광으로 발생되는 standing wave, notching과 같은 PR 패턴의 왜곡 현상을 제어할 수 있는 반도체 재료입니다.
BARC는 PR의 하부막에 사용되어 PR의 성능손실을 최소화해 균일한 패턴과 정밀회로를 구현할 수 있습니다.
켐옵틱스는 10년 이상의 노하우를 바탕으로 최상의 BARC용 폴리머를 생산하고 있습니다.
Polyester type BARC 제품 특성 :
- Mw control : Target Mw < ± 150
- Residual Metals : < 3 ppb in solution
- Good reproducibility
- Size : 50L, 200L & 300L
Without BARC
With BARC
